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低温等离子体灭菌技术是消毒学领域继甲醛、环氧乙烷、戊二醛等低温灭菌技术之后又一新的灭菌技术，其特点是低温、快速、毒性残留低，而且对于耐湿热和不耐湿热的物品、器械均适用。采用过氧化氢做为辅助剂，将过氧化氢气体灭菌与低温等离子结合起来 ，快速杀灭各种微生物的技术方法是目前较为最好的选择。过氧化氢俗称双氧水，是一种较强的氧化剂。过氧化氢杀菌机制有氧化作用和分解产物的作用两种。过氧化氢的强氧化性及氧化产物可直接氧化细菌外层结构，使细胞通透性屏障遭到破坏，细菌体内物质平衡受到破坏致细菌死亡。
在当前面对如此严苛的灭菌要求，理想的灭菌器应该具有如下的特点和性能：
( 1 )灭菌速度应尽量快，时间要短；
( 2 )灭菌温度应该低于5 5℃左右，对器械、物品损伤尽量小；
( 3 )灭菌时对整个环境无影响，灭菌残留物是无害的；
( 4 )能够满足多种物品的灭菌要求；
( 5 )使用耗材价格不能过高。
真空阶段：通过真空泵将灭菌舱内空气抽出，直到达到等离子体放电的真空条件，同时可去除灭菌物上的湿气。值得的注意的是，如同其他灭菌设备一样，灭菌舱内装载量约占整个舱的80%，可避免真空循环时间过久或因超载所导致的循环取消。
注液扩散阶段：真空期结束后，自动注入2ml60%浓度的过氧化氢，瞬间气化分成分子，均匀扩散到整个灭菌腔室。
等离子阶段：气化的H2O2在RF的作用下产生等离子体，通过低温离子化的活性Free-radical作用，使微生物灭绝。而RF波一停止，离子化状态便瞬间终了。转变成稳定地氧分子及水分子，随后重复注液扩散阶段和等离子阶段，已保证器械的灭菌效果。
充气阶段：灭菌循环的最后阶段。通风阀门开启，使经过过滤后的洁净空气进入灭菌舱，舱内负压恢复到一个大气压时，灭菌过程即告完成。 目前产品有快速灭菌程序、标准灭菌程序、加强灭菌程序。以保证各证灭菌器械的灭菌效果。在灭菌表面物品时，可使用快速灭菌23分钟达到灭菌效果；在灭菌管腔器械时，使用标准灭菌35分钟达到灭菌效果，灭菌较长管腔时可使用加强灭菌程序43分钟即可达到灭菌效果. |
